EVAPORATORS




EV 100


単源エバポレーター

スタンダードエバポレーター;1500℃水冷機構付
るつぼ;6cm3
ヒーター;Ta線
取付フランジ;DN40 CF
材料;Ag, Au, Pt, 有機, 等、
温度測定;バネ止めK タイプサーモカップル
2000℃用クーリングシュラウドオプション
EBV 100
電子ビームエバポレーター

Fe, Mo, Ta 等の高温溶融素材の蒸発のためのロッド
またはるつぼの電子ビームエバポレーター。
PID 制御により蒸発速度とフラックスモニターが可能。
水冷によるアウトガス低減。
電子エネルギー;0~1500eV
取付フランジ;DN40 CF
EV 300
四源有機エバポレーター

四源エバポレーターで3 つまでの材料をるつぼから同時に蒸発。
水冷機構によりクロストークとアウトガスを低減。
各るつぼにK 熱電対温度測定。
ヒーター;タングステン線
取付フランジ;DN40 CF
るつぼ;0.5cm3
QMB 100
膜厚制御用水冷クォーツマイクロバランスセンサー

水晶発振子 6 MHz, 10 mm
素材 非磁性ステンレス
取付フランジ;DN40 CF




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