EVAPORATORS



 EV 100
単源エバポレーター


 スタンダードエバポレーター;1500℃水冷機構付
 るつぼ;6cm3
 ヒーター;Ta線
 取付フランジ;DN40 CF
 材料;Ag, Au, Pt, 有機, 等、
 温度測定;バネ止めK タイプサーモカップル
 2000℃用クーリングシュラウドオプション
 
 EBV 100
電子ビームエバポレーター


 Fe, Mo, Ta 等の高温溶融素材の蒸発のためのロッド
 またはるつぼの電子ビームエバポレーター。
 PID 制御により蒸発速度とフラックスモニターが可能。
 水冷によるアウトガス低減。
 電子エネルギー;0~1500eV
 取付フランジ;DN40 CF
 
 EV 300
四源有機エバポレーター


 四源エバポレーターで3 つまでの材料をるつぼから同時に蒸発。
 水冷機構によりクロストークとアウトガスを低減。
 各るつぼにK 熱電対温度測定。
 ヒーター;タングステン線
 取付フランジ;DN40 CF
 るつぼ;0.5cm3
 
 QMB 100
膜厚制御用水冷クォーツマイクロバランスセンサー


 水晶発振子 6 MHz, 10 mm
 素材 非磁性ステンレス
 取付フランジ;DN40 CF
 






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