HIGH PRECISION UHV MANIPULATORS



 HPM 40

 XYZ マニピュレーター


  ・+/- 12.5mm XY移動   
  ・DN40 traveling 移動   
  ・600 mm Z-移動   
  ・DN40, DN63, DN100 取付フランジ   
  ・精 度   :  +/- 5μm(手動)
  ・Z-移動速度  :  2mm/sec

 
 HPM 100/200

 XYZ マニピュレーター


 HPM 100
   ・+/- 12.5mm XY移動  
   ・DN160 traveling 移動  
   ・1000 mm Z-移動  
   ・DN160 取付フランジ  
   ・精度 :   5μm(手動) , 0.5μm (電動)
   ・繰り返し精度  5μm(手動), 1μm(電動)
   ・Z-移動速度  2mm/sec

  
 HPM 200
  ・+/- 25mm XY移動   
  ・DN160 traveling 移動   
  ・1000 mm Z-移動   
  ・DN160 取付フランジ   
  ・精度  :  5μm(手動) , 0.5μm (電動) 
  ・繰り返し精度  :  5μm(手動), 1μm(電動) 
  ・Z-移動速度  2mm/sec 

 
 ZM 50/75/100

 Z 軸移動


  ・50mm, 75mm or 100mm Z-移動
  ・角度オプション
  ・DN 40 取付、 traveling 移動
  ・他のフランジ可能
  ・精度 0.5mm (手動)
  ・繰り返し精度 0.5mm (手動)

 
 DPRF 100/63

 差動排気ロータリーフィードスルー
 
 Cryo-Head

 5/6軸クライオマニピュレーター


  ・6軸XYZ移動
   回転Z
   回転角
   傾斜角
  ・5軸XYZ移動
   回転Z
   傾斜角
  ・He消費  :1 l/h以下

 
 HPM Cryo

 HPM Cryo-リニアマニピュレーション


  ・DN 160 CF 取付フランジXY移動   
  ・+/- 12.5mm XY, 500mm Z移動   
  ・精度  :  5μm(手動), 0.5μm (電動)
  ・繰り返し精度  :  5μm(手動), 1μm(電動)
  ・移動速度   2mm/sec


 HPM Cryo-回転マニピュレーション

  ・Z-回転 (R1 軸)   full 360°
  ・回転角 (R2 軸)   +/- 180
  ・傾斜角 (R3 軸)   -5°~ +45°
  ・角度分解   0.1°


 HPM Cryo-冷却/加熱

  ・He-冷却  < 7 K (5軸), <9 K (6軸) 
  ・He-消費  0.5 l/h at > 10K, 1 l/h at 最低温 
  ・間接抵抗加熱  < 400 K 

 

 ▶
XY ステージ: ±12.5mm, ±25mm

 ▶ Z 軸移動:25mm, 50mm, 75mm, 100mm, 傾斜角調整オプション

  XYZ マニピュレーター: XY<±25mm, Z<1000mm

 ▶ XYZR1 マニピュレーター:XY<±25mm
  Z<1000rpm, R1±180°回転角差動排気式フィードスルー

 ▶ XYZR1R2 マニピュレーター: XY<±25mm
  Z<1000rpm, R1±180°回転角差動排気式フィードスルー、
  R2±90°方位角、360°スライダ接点オプション

 ▶ XYZR1R2 マニピュレーター: XY<±25mm
  Z<1000rpm, R1±180°回転角差動排気式フィードスルー、
  R2±90°方位角、360°スライダ接点オプション

 ▶ XYZR1R2R3 マニピュレーター:XY<±25mm、Z<1000rpm、 R1±180°回転角差動排気式フィードスルー、
  R2±90°方位角、360°スライダ接点オプション
  R3±10°傾斜角(オプションでクライオマニピュレーターへ45°まで対応)

  クライオマニピュレーター:回転機構付、3.5K

 全ての角度用マニピュレーターに電動オプション
 ジョイスティックやタッチスクリーンまたはソフトウエアによるマイクロプロセッサー移動制御







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