HIGH PRECISION UHV MANIPULATORS




HPM 40


XYZ マニピュレーター

・+/- 12.5mm XY移動
・DN40 traveling 移動
・600 mm Z-移動
・DN40, DN63, DN100 取付フランジ
・精度      :+/- 5μm(手動)
・Z-移動速度  :2mm/sec
HPM 100/200
XYZ マニピュレーター

HPM 100
・+/- 12.5mm XY移動
・DN160 traveling 移動
・1000 mm Z-移動
・DN160 取付フランジ
・精度       : 5μm(手動) , 0.5μm (電動)
・繰り返し精度 :5μm(手動), 1μm(電動)
・Z-移動速度  :2mm/sec

HPM 200
・+/- 25mm XY移動
・DN160 traveling 移動
・1000 mm Z-移動
・DN160 取付フランジ
・精度       :5μm(手動) , 0.5μm (電動)
・繰り返し精度  :5μm(手動), 1μm(電動)
・Z-移動速度  :2mm/sec

ZM 50/75/100
Z 軸移動

・50mm, 75mm or 100mm Z-移動
・角度オプション
・DN 40 取付、 traveling 移動
・他のフランジ可能
・精度 0.5mm (手動)
・繰り返し精度 0.5mm (手動)

DPRF 100/63
差動排気ロータリーフィードスルー
Cryo-Head
5/6軸クライオマニピュレーター

・6軸XYZ移動
 回転Z
 回転角
 傾斜角
・5軸XYZ移動
 回転Z
 傾斜角
・He消費  :1 l/h以下
HPM Cryo
HPM Cryo-リニアマニピュレーション
・DN 160 CF 取付フランジXY移動
・+/- 12.5mm XY, 500mm Z移動
・精度      : 5μm(手動), 0.5μm (電動)
・繰り返し精度 :5μm(手動), 1μm(電動)
・移動速度   :2mm/sec

HPM Cryo-回転マニピュレーション
・Z-回転 (R1 軸) :full 360°
・回転角(R2 軸)  : +/- 180°
・傾斜角(R3 軸)  : -5°~ +45°
・角度分解     :0.1°

HPM Cryo-冷却/加熱
・He-冷却     : <7 K (5軸), <9 K (6軸)
・He-消費     :0.5 l/h at > 10K, 1 l/h at 最低温
・間接抵抗加熱  :< 400 K
XY ステージ: ±12.5mm, ±25mm

Z 軸移動:25mm, 50mm, 75mm, 100mm, 傾斜角調整オプション

XYZ マニピュレーター: XY<±25mm, Z<1000mm

XYZR1 マニピュレーター:XY<±25mm
 Z<1000rpm, R1±180°回転角差動排気式フィードスルー

XYZR1R2 マニピュレーター: XY<±25mm
 Z<1000rpm, R1±180°回転角差動排気式フィードスルー、
 R2±90°方位角、360°スライダ接点オプション

XYZR1R2 マニピュレーター: XY<±25mm
 Z<1000rpm, R1±180°回転角差動排気式フィードスルー、
 R2±90°方位角、360°スライダ接点オプション

XYZR1R2R3 マニピュレーター:XY<±25mm、Z<1000rpm、 R1±180°回転角差動排気式フィードスルー、
 R2±90°方位角、360°スライダ接点オプション
 R3±10°傾斜角(オプションでクライオマニピュレーターへ45°まで対応)

クライオマニピュレーター:回転機構付、3.5K

全ての角度用マニピュレーターに電動オプション
ジョイスティックやタッチスクリーンまたはソフトウエアによるマイクロプロセッサー移動制御




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