SOURCES




XRS 100
Al/Mg アノードX線源

Mg 300W
Al 600W
アライメント調整ポートアライナー
FS 100
Flood ソース

陽電荷チャージサンプル中和用Flood source、XPS, SIMS,等
2 つのエネルギーレンジ(10 eV, 500 eV)
PC によるエネルギー制御可能
IS 100
イオンソース

STM 探針クリーニングやサンプル対応
エキストラクタータイプイオンソース。
ダイレクトガスインレットへ10-6 ~ 10-5 mbar のチャンバー圧で動作し、アルゴンのほか活性ガスによるスパッタリングも可能。
IS 200
ラスター、フォーカス型イオンソース

エキストラクターと差動排気型イオンソースであり、STM 探針クリーニングやサンプル及びデプスプロファイルに使用。
差動排気取付によりチャンバー圧10-8 mbar まで対応。またアルゴンのほか活性ガスによるスパッタリングも可能。
イオンエネルギー:5keV まで。スポット及びスキャニングモードのラスターサイズ10mm まで。
UVS 200
UPS紫外光源

 紫外光電子分光 (UPS)に最適なUV光源。 放電室は容易に点灯し安定した放電と高輝度を実現。
光源はICF70フランジへ取り付可能。
放電の気圧を調整することにより、 He I / He II を制御。
使用ガスは通常ヘリウムを使用し、ネオンやアルゴンも可能。

高光量子束    :8 x 1015 Photons sr-1 s-1以 上
フォトカレント   : 50 nA以上
取り付けフランジ :DN40 CF
差動排気     :2段
ビーム拡がり角 : ±1°以下
 UVS 1000
 超高効率UV光源

RF電源によりプラズマを的確に発光できる超高効率UV光源。
旧来のプラズマベースUV光源より格段に高い効率を提供。
UVS1000は電極なし、イグニッションなしのユニバーサルなUV光源で、多種のガスや混合ガスで動作し、
光電子分光分析、原子吸光分析、質量分析などの広範囲な応用へ適用。


多種のワーキングガス(He, Ne, Ar, Kr, Xe)
光子エネルギー 8.4eV - 40.8 eV (30nm - 147 mm)
光子束 >5・1017photons/Sr sec
分解能 <1 meV
コンパクトRFプラズマ電源 24V/200W




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