ULTRA HIGH VACUUM
AND HIGH VACUUM SYSTEMS




プレパレーションチャンバー;蒸発セル、スパッタソース、LEED、他、各フランジ
異種UHVシステムへのサンプルホルダの運搬にファーストエントリーロードロック型転送ボックス
OmniVac またはフラグスタイルサンプルホルダ用回転台型収納チャンバー
OmniVac RDC UHV システム
セントラルチャンバー


RDC 700 RDC 820 RDC 1100
チャンバーサイズ 700mm 700mm 1100mm
Z軸移動距離 475mm 820mm
移動機構 ラックピニオン テレスコピック ラックピニオン
回転 360° 360° 360°
ポート DN 63 CF 8ポートまで DN 63 CF 8ポートまで DN 63 CF 8~12ポート
ポンプ イオンゲッターポンプ イオンゲッターポンプ イオンゲッターポンプ
真空度 < 2 ×10-10mbar < 2 ×10-10mbar < 2 ×10-10mbar
UHV-チャンバー、プロダクト-デザイン:

サンプル分析チャンバー(ミューメタル包括)

サンプルプレパレーションチャンバー

サンプル導入チャンバー

サンプルトランスファーチャンバー(直線、反転)

ファーストエントリーロードロック

高温/サンプル処理用加圧チャンバー

サンプルcleaber チャンバー


HV-チャンバー、プロダクト-デザイン:

サンプルトランスファーチャンバー

サンプル導入チャンバー

電気化学サンプルプレパレーションチャンバー




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