ULTRA HIGH VACUUM
  AND HIGH VACUUM SYSTEMS





 プレパレーションチャンバー ; 蒸発セル、スパッタソース、LEED、他、各フランジ

 異種UHVシステムへのサンプルホルダの運搬に
 ファーストエントリーロードロック型転送ボックス

 OmniVac またはフラグスタイルサンプルホルダ用回転台型収納チャンバー

 OmniVac RDC UHV システム
 セントラルチャンバー






   RDC 700 RDC 820  RDC 1100 
 チャンバーサイズ    700mm   700mm   1100mm 
 Z軸移動距離   475mm   820mm   
 移動機構   ラックオピニオン   テレスコピック   ラックオピニオン 
  回転  360°   360°   360° 
 ポート   DN 63 CF 8ポートまで    DN 63 CF 8ポートまで    DN CF 8~12ポート  
 ポンプ   イオンゲッターポンプ   イオンゲッターポンプ   イオンゲッターポンプ 
 真空度   < 2 × 10-10mbar   < 2 × 10-10mbar   < 2 × 10-10mbar 



 UHV-チャンバー、プロダクト-デザイン:


  ▶ サンプル分析チャンバー(ミューメタル包括)

   サンプルプレパレーションチャンバー

   サンプル導入チャンバー

  ▶ サンプルトランスファーチャンバー(直線、反転)

  ▶ ファーストエントリーロードロック

   高温/サンプル処理用加圧チャンバー

  ▶ サンプルcleaber チャンバー


 HV-チャンバー、プロダクト-デザイン:

  ▶ サンプルトランスファーチャンバー

  ▶ サンプル導入チャンバー

  ▶ 電気化学サンプルプレパレーションチャンバー







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