エンドポイント検出システム SD1024シリーズ  

  Spectrograph
SD1024G
 Spectrograph SD1024シリーズは、光学式のエンドポイント検出システムで、プラズマエッチャー内のプロセスをリアルタイムにモニタリングすることができます。CCDセンサを搭載し、200~800nmの波長領域をサポート、UV領域の感度が高く、検出困難だった微細な変化でも捉えることができます。また、USB/Ethernetをデータ転送としてサポートしており、ネットワーク経由でスペクトルデータを取得することもできます。

 また、付属のSpectraViewソフトウェアで採取したスペクトルデータをモニタリング、解析、エンドポイント検出アルゴリズムの設定を行います。Verity社独自のエンドポイントトレース生成アルゴリズム、EPdesignerや、Neural Networkを用いたエンドポイント検出アルゴリズムなど優れたアルゴリズムが微細プロセスをサポートします。SpectraViewでは、RS232/Ditital I/O/Ethernetといった様々なプロトコルに対応しており、ニーズに合った通信プロトコルを提供します。

 

EPdesigner 複合波長アルゴリズム
   

 << ハードウェア仕様 >>

 タイプ SD1024G/GH  SD1024GL  SD2048GL 
 CCD画素数  1024×128 2048×1
(2 picxelビニング) 
 2048×1
 CCD仕様  裏面入射型
冷却タイプ
 UVコーティング UVコーティング 
 分解能 < 2.0nm   < 2.0nm < 1.0nm 
波長範囲  200~800nm   
 サイズ(㎜)  142x137.2x259  
 重さ  3kg  
 ファイバー  Verity社特注 SAM905  SAM905 
 入力ch数 最大 7 fiber  1 fiber  1 fiber 
 I/F USB or Ethernet   
 電源仕様  20-28VDC
45W
  
 

 <<アプリケーション>>

■ エッチング  ■ イオンビームエッチング 
■ アッシング / フォトレジスト除去  ■ プラズマイオン注入 
■ CVD  ■ CMP 
■ べベルエッチング  ■ 反応性スパッタリング 


 


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