光学式エンドポイントディテクタ  
   
SD 1024シリーズ エンドポイントディテクタ  
 

 Spectrograph SD1024シリーズは、光学式のエンドポイント検出システムで、プラズマエッチャー内のプロセスをリアルタイムにモニタリングすることが出来ます。 

 また、付属のSpectraViewTMソフトウェアで採取したスペクトルデータをモニタリング、解析、エンドポイント検出アルゴリズムの設定を行います。Verity社独自のエンドポイントトレース生成アルゴリズム、EPdesignerや、Neural Networkを用いたエンドポイント検出アルゴリズムなど優れたアルゴリズムが微細プロセスをサポートします。
SpectraViewTMでは、RS232/Digital I/O/Ethernetといった様々なプロトコルに対応しており、ニーズに合った通信プロトコルを提供します。
 
 ハードウェア仕様
 タイプ  SD1024G/GH    SD1024GL  SD2048GL
 CCD画素数  1024 × 128  2048 × 1 (2 picxelビニング)  2048 × 1
 CCD仕様  裏面入力型冷却タイプ  UVコーティング UVコーティング 
 分解能  < 2.0nm  < 2.0nm < 1.0nm 
 波長範囲 200 ~ 800nm  
 サイズ(mm) 142 × 137.2 × 259  
 重さ 3kg  
 ファイバー  Verity社特注  SAM905  SAM905
 入力ch数  最大 7 fiber  1 fiber  1 fiber
 I/F USB or Ethernet  
 電源仕様   20 - 28 VDC、45W

 アプリケーション
 ■ エッチング  ■ イオンビームエッチング
 ■ アッシング/フォトレジスト除去  ■ プラズマイオン注入
 ■ CVD  ■ CMP
 ■ べベルエッチング  ■ 反応性スパッタリング


EPdesigner 複合波長アルゴリズム

 
 SP2100 分光式リフレクトメータ 
  SD1024とキセノンランプを組み合わせてウェハー上の薄膜などを測定します。 

● エッチングやCVDアプリケーションでの膜厚の
   処理中(in-situ)計測とインライン計測用に、
   またCMPでの金属またはトランジションブレイク
   スルー用に設計
● リアルタイム計測
● 利用可能波長範囲:
 ・ 標準: 225 - 800nm
 ・ オプション: < 225 - 800nm
● フリンジカウント、反射率モデルベース
   アルゴリズム
● RoHS指令対応
 
 SD1024Gスペクトロメータは以下を提供します: 
 ■ 優れたUV感度  ■ 優れたS/N比
 ■ 広ダイナミックレンジ  ■ 多重光ファイバー入力が可能(アプリケーションによる

フラッシュランプは以下を提供します: 
 ■ プラズマの差分によるその場計測  ■ 移動ウェハーの場合の固定画像イメージ
 ■ 優れたS/N比での高輝度  

 SpectraViewTMは以下を提供します:
 ■ 安定したエンドポイント検出  ■ エッチング深さ
 ■ 膜厚アルゴリズム  ■ 柔軟なオープンアルゴリズムとシーケンス
 ■ イーサネット、RS232、DI/O経由のツール統合  

 
   
 SD512GR 近赤外光分光装置  
 
● 900 - 1700nmの波長範囲に適応
● ロバスト終点検出の決定機能を提供
● 既存のSpectraViewTMソフトウェアを利用可能 
● 終点検出、障害検出、プロセス診断、そして分光
  反射率計測器の一部として利用可能