科学計測事業部
真空を利用した研究開発や製造・分析装置の関連機器と各種コンポーネント類の販売を行っています。プラズマ特性の測定や分光スペクトル計測を応用した、半導体プロセスの管理と制御(終点検出器等‥)も得意の分野です。 さらに、燃料電池や触媒等からの反応ガスを定性定量可能なガス質量分析計も扱っています。
主要取扱製品
表面分析装置(SIMS、SNMS)、Auコーティングガラス
ガス分析装置(四重極質量分析計、各種サンプリング装置)、マイクロリアクター
(昇温脱離ガス分析計)
プラズマモニター(プラズマ診断用プローブシステム、エネルギーアナライザー付き
高感度質量分析計、プラズマモニター用分光計)
終点検出器(分光式、SIMS式)
DMFC用電子負荷装置
原子蛍光分析計

プラズマ分析用質量・エネルギー分析
応用化学事業部
最先端技術を結集した元素分析計をはじめとして、光とコンピュータを利用した分析機器、マイクロ波加熱技術を応用したサンプル前処理装置、化学合成装置、水分計など、常に分析の分野をリードする製品を提供しています。
主要取扱製品
全窒素・硫黄分析計、全フッ化物分析計、水銀・ヒ素・アンチモン分析計、GC/HPLC検出器、熱分解/パージ&トラップ装置、パルスNMR、分光光度計、円二色性分散計、マイクロ波式水分/油分計、マイクロ波式湿式分解/灰化/抽出装置、超臨界流体抽出装置(SFE)、固体脂測定装置、酸化安定度試験器、化学合成装置、ペプチド合成装置
電子応用事業部
EMC適合・予備診断試験機器&システム、電波法施行規則や電気用品安全法に準拠した等方性電磁界プローブ・アンテナ及び漏洩電波測定器、労務安全対策用電磁波防護服、磁場環境測定器及びセンサー、加速器・プラズマ・デバイス試験用広帯域RF&
MWパワーアンプ及び応用システム、携帯基地局・RF IC&デバイス試験のカスタム要求に対応した自社開発のブロードバンドスイッチマトリックス及びRF
& MW部品を取り扱っています。
主要取扱製品
トランジェントイミュニティ試験器(ESD、EFT/B、雷サージ)瞬断瞬停試験器、サージ保護素子試験器、RFイミュニティ試験機器、車載電子機器用イミュニティ試験器、NEMP試験システム、各種アンテナ(直線/円偏波)、コムジェネレータ、LISN &ラインプローブ、CDN、EMクランプ、BCI & カレントプローブ、等方性電磁界プローブ&アンテナ、誘導電流計、電磁波防護服、MWサーベイメータ & ハザードモニター、比較校正装置、TEMセル、GTEMセル、トリプレート、ストリップライン、ヘルムホルツコイル、高感度マグネトメータ&磁気センサー、低透磁率計、RF & MWパワーアンプ
及びコンポーネンツ(方向性結合器、スタブチューナー、インピーダンス変換トランス、ハイブリッド、フィルター、各種同軸ケーブル等)、マイクロウエーブヒータ、ブロードバンドスイッチマトリックス(マルチプレクサー型、ブロッキング型、ノンブロッキング型)
半導体事業部
半導体/液晶/ディスク/工業用コーティング等の製造プロセスに使用される、プラズマ発生用DC/低周波/高周波電源を扱っています。自動整合器 自動位相シフタは自社開発製品を販売しています。
主要取扱製品
高周波電源(1〜4MHz、13.56〜60MHz、500W〜5KW) 低周波電源(40〜500KHz、500W〜7KW) 自動整合器 自動位相シフタ スパッタリング用DC/DCパルス電源
光ファイバー温度計 ハロゲンフィルター
CESARシリーズ高周波電源
マッチッングネットワーク