■ 真空機器及び表面分析コンポーネント

   
  ソース類、エバポレーター、マニピュレータ、サンプルトランスファーなど、表面分析用に様々なツールを取り揃えています。
逆光電子分光システムは光電子分光では難しかったフェルミと真空準位から非占有電子状態の密度を測れる高感度表面分析法です。 
  
 
 ■ 光学式エンドポイントディテクタ

   
  Spectrograph SD1024シリーズは、光学式のエンドポイント検出システムで、プラズマエッチャー内のプロセスをリアルタイムにモニタリングすることができます。また、キセノンランプを組み合わせてウェハー上の膜厚などの測定ができる分光式リフレクトメータ、近赤外光分光装置などを取り揃えています。 
  
   
■ エレクトロンマルチプライヤー

   
   Dr. Sjuts社のチャンネルエレクトロンマルチプライヤーは宇宙開発をはじめとする、UPS、XPS、TOFなどのシステムの検出器として世界的に広く使用されています。真空関係分析器の開発等にお役立てください。
 
  
   
■ ディレイラインディテクタ


   
   独国Surface Concept社の時間分解イメージング検出器は、MCPイメージングとDLDアノード間のパルスにより位置情報と時間情報を同時に得ることが可能です。また、時間軸分解中性子イメージ検出器は、空間分解、超高速タイミングの分析が可能な他に類のない中性子検出器です 
  
   ■ Auコーティングガラス    
   Gold arrandeeTMは0.7mmのホウ珪酸ガラス上に金の単結晶が蒸着されており、基準蒸着サンプル作成の手間を省きます。1994年以来世界中のSPMによる生物学、化学、物理学の研究等でご利用いただいております。
 


固体、固体表面及び気体の物性、素性や反応などを分析測定する装置類とこれらの 測定結果を用いて半導体/記録媒体製造プロセスの管理、制御を行う機器を扱っています。        

   



 


 取扱製品