Verity
光学式エンドポイントディテクタ  
イオンビームエッチングの終点検出を実現しました。
 アプリケーション
 ■ エッチング  ■ イオンビームエッチング
 ■ アッシング/フォトレジスト除去  ■ プラズマイオン注入
 ■ CVD  ■ CMP
 ■ べベルエッチング  ■ 反応性スパッタリング


EPdesigner 複合波長アルゴリズム 
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SD 1024シリーズ エンドポイントディテクタ  
 

 Spectrograph SD1024シリーズは、光学式のエンドポイント検出システムで、エッチングプロセスをリアルタイムにモニタリングすることが出来ます。 

 また、付属のSpectraViewTMソフトウェアで採取したスペクトルデータをモニタリング、解析、エンドポイント検出アルゴリズムの設定を行います。Verity社独自のエンドポイントトレース生成アルゴリズム、EPdesignerや、Neural Networkを用いたエンドポイント検出アルゴリズムなど優れたアルゴリズムが微細プロセスをサポートします。
SpectraViewTMでは、RS232/Digital I/O/Ethernetといった様々なプロトコルに対応しており、ニーズに合った通信プロトコルを提供します。
 ハードウェア仕様

Gシリーズ(Windows PCコントロール)

タイプ SD1024G/GH SD2048GH SD1024GM SD2048GM SD1024GL SD2048GL SE1024GL-CMOS
CCD仕様  74mm
裏面入力型冷却タイプ
 25mm
高感度紫外ダイナミックレンジタイプ
  5.7mm
高感度紫外ダイナミックレンジタイプ
5.7mm
高感度紫外タイプ
  分解能   < 1.87nm   < 1.0nm   < 1.87nm < 1.0nm < 2.0nm < 1.0nm < 2.0nm
最小露光時間
(standard A/D)
13ms  7ms  2ms 2ms 6ms 6ms 2ms
 波長範囲 200 ~ 800nm or 200 ~ 900nm 200 ~ 800nm  
 サイズ(mm) H 142 × W 137.2 × L 259   H 102 × W 137.2 × L 191 
 重さ 3kg   1.6kg 
 ファイバー  Verity社特注   SAM905
 入力ch数  最大 8 fiber  最大 3 fiber  1 fiber
 I/F USB or Ethernet  
 電源仕様   20 - 28 VDC、45W

Xシリーズ(PC内蔵型)
タイプ SD1024X/XH SD2048XH SD1024XM SD2048XM SD1024XL SD2048XL
CCD仕様  74mm
裏面入力型冷却タイプ
 25mm
高感度紫外ダイナミックレンジタイプ
  5.7mm
高感度紫外ダイナミックレンジタイプ
  分解能   < 1.87nm   < 1.0nm   < 1.87nm < 1.0nm < 2.0nm < 1.0nm
最小露光時間
(standard A/D)
13ms  7ms  2ms 2ms 6ms 6ms
 波長範囲 200 ~ 800nm or 200 ~ 900nm 200 ~ 800nm  
 サイズ(mm) H 142 × W 137.2 × L 259   H 102 × W 137.2 × L 191 
 重さ 3.4kg   1.6kg 
 ファイバー  Verity社特注   SAM905
 入力ch数  最大 8 fiber  最大 3 fiber  1 fiber
 I/F USB or Ethernet  
 電源仕様   20 - 28 VDC、45W


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 SP2100 分光式リフレクトメータ 
  SD1024とキセノンランプを組み合わせてウェハー上の薄膜などを測定します。 

● エッチングやCVDアプリケーションでの膜厚の
   処理中(in-situ)計測とインライン計測用に、
   またCMPでの金属またはトランジションブレイク
   スルー用に設計
● リアルタイム計測
● 利用可能波長範囲:
 ・ 標準: 225 - 800nm
 ・ オプション: < 225 - 800nm
● フリンジカウント、反射率モデルベース
   アルゴリズム
● RoHS指令対応
 
 SD1024スペクトロメータは以下を提供します: 
 ■ 優れたUV感度  ■ 優れたS/N比
 ■ 広ダイナミックレンジ  ■ 多重光ファイバー入力が可能(アプリケーションによる

フラッシュランプは以下を提供します: 
 ■ プラズマの差分によるその場計測  ■ 移動ウェハーの場合の固定画像イメージ
 ■ 優れたS/N比での高輝度  

 SpectraViewTMは以下を提供します:
 ■ 安定したエンドポイント検出  ■ エッチング深さ
 ■ 膜厚アルゴリズム  ■ 柔軟なオープンアルゴリズムとシーケンス
 ■ イーサネット、RS232、DI/O経由のツール統合  

 
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 SD512GR 近赤外光分光装置  
 
900 - 1700nmの波長範囲に対応

● 終点検出、障害検出、プロセス診断、そして分光
  反射率計測器の一部として利用可能
● 化学反応モニタリング、
  化学品/医薬中間体や完成化学品
   医薬品の品質検査